本书系统地梳理了微米加工(特别是非硅基加工)技术以及纳米加工手段，结合微流体、微惯性器件、纳米传感器等方面的典型案例，阐释了这些技术的原理和特点，提出了特定问题的高效率解决方案，给出了工艺设计方面的指南，并对这些技术的发展走向做出了高屋建瓴的判断。

索书号：TB383/262

馆藏地：长山馆自然科学图书第4阅览室