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微米加工与纳米制造
微米加工与纳米制造
出版社:机械工业出版社
出版时间:2016年1月
页数:375
版次:
索书号:TB383/262
ISBN:978-7-111-51482-4

索书号:TB383/262

馆藏地:东校区学生阅览室


本书系统地梳理了微米加工(特别是非硅基加工)技术以及纳米加工手段,结合微流体、微惯性器件、纳米传感器等方面的典型案例,阐释了这些技术的原理和特点,提出了特定问题的高效率解决方案,给出了工艺设计方面的指南,并对这些技术的发展走向做出了高屋建瓴的判断。


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